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3d輪廓測量儀器

產(chǎn)品簡介

中圖儀器3d輪廓測量儀器可測各類從超光滑到粗糙、低反射率到高反射率的物體表面,從納米到微米級別工件的粗糙度、平整度、微觀幾何輪廓、曲率等,提供依據(jù)ISO/ASME/EUR/GBT四大國內(nèi)外標(biāo)準(zhǔn)共計300余種2D、3D參數(shù)作為評價標(biāo)準(zhǔn)。

產(chǎn)品型號:
更新時間:2024-05-12
廠商性質(zhì):生產(chǎn)廠家
訪問量:1636
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中圖3d輪廓測量儀器由照明光源系統(tǒng),光學(xué)成像系統(tǒng),垂直掃描系統(tǒng)以及數(shù)據(jù)處理系統(tǒng)構(gòu)成,是以白光干涉技術(shù)為原理,結(jié)合具有優(yōu)異抗噪性能的3D重建算法,從而實現(xiàn)器件表面形貌3D測量的光學(xué)檢測儀器。


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3d輪廓測量儀器可測各類從超光滑到粗糙、低反射率到高反射率的物體表面,從納米到微米級別工件的粗糙度、平整度、微觀幾何輪廓、曲率等,提供依據(jù)ISO/ASME/EUR/GBT四大國內(nèi)外標(biāo)準(zhǔn)共計300余種2D、3D參數(shù)作為評價標(biāo)準(zhǔn)。


粗糙度分析操作步驟:

1. 將樣品放置在夾具上,確保樣品狀態(tài)穩(wěn)定;

2. 將夾具放置在載物臺上;

3. 檢查電機連接和環(huán)境噪聲,確認(rèn)儀器狀態(tài);

4. 使用操縱桿調(diào)節(jié)三軸位置,將樣品移到鏡頭下方并找到樣品表面干涉條紋;

5. 完成掃描設(shè)置和命名等操作;

6. 點擊開始測量(進(jìn)入3D視圖窗口旋轉(zhuǎn)調(diào)整觀察一會);

7. 進(jìn)入數(shù)據(jù)處理界面,點擊“去除外形",采用默認(rèn)參數(shù),點擊應(yīng)用獲取樣品表面粗糙度輪廓;

8. 進(jìn)入分析工具模塊,點擊參數(shù)分析,直接獲取面粗糙度數(shù)據(jù),點擊右側(cè)參數(shù)標(biāo)準(zhǔn)可更換參數(shù)標(biāo)準(zhǔn),增刪參數(shù)類型;

9. 如果想獲取線粗糙度數(shù)據(jù),則需提取剖面線;

10. 進(jìn)入數(shù)據(jù)處理界面,點擊“提取剖面"圖標(biāo),選擇合適方向剖面線進(jìn)行剖面輪廓提取;

11. 進(jìn)入分析工具界面,點擊“參數(shù)分析"圖標(biāo),點擊右側(cè)參數(shù)標(biāo)準(zhǔn),勾選所需線粗糙度相關(guān)參數(shù),即可獲取線粗糙度Ra數(shù)據(jù)。


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產(chǎn)品功能

1)具備各種類型樣品表面微觀形貌的3D輪廓重建與測量功能;

2)具備表面粗糙度和微觀輪廓的檢測功能,粗糙度范圍涵蓋0.1nm到數(shù)十微米的級別;

3)具備校平、去除形狀、去噪、濾波等數(shù)據(jù)處理功能;

4)具備粗糙度分析、輪廓分析、結(jié)構(gòu)分析、功能分析等表面參數(shù)分析功能;

5)具備自動對焦、自動測量、自動多區(qū)域測量、自動拼接測量等自動化功能;

6)具備一鍵分析、多文件分析等快速、批量分析功能;

7)具備word、excel等數(shù)據(jù)報表導(dǎo)出功能。

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