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共聚焦顯微鏡工業(yè)測(cè)量?jī)x

簡(jiǎn)要描述:共聚焦顯微鏡工業(yè)測(cè)量?jī)x具備一體化操作的測(cè)量與分析軟件,預(yù)先設(shè)置好配置參數(shù)再進(jìn)行測(cè)量,軟件自動(dòng)統(tǒng)計(jì)測(cè)量數(shù)據(jù)并提供數(shù)據(jù)報(bào)表導(dǎo)出功能,即可快速實(shí)現(xiàn)批量測(cè)量功能。設(shè)備具備表征微觀形貌的輪廓尺寸及粗糙度測(cè)量功能;可測(cè)各類包括從光滑到粗糙、低反射率到高反射率的物體表面,從納米到微米級(jí)別工件的粗糙度、平整度、微觀幾何輪廓、曲率等。

  • 更新時(shí)間:2024-05-13
  • 產(chǎn)品型號(hào):VT6100
  • 廠商性質(zhì):生產(chǎn)廠家
  • 訪  問(wèn)  量:1247

詳細(xì)介紹

品牌CHOTEST/中圖儀器價(jià)格區(qū)間面議
產(chǎn)地類別國(guó)產(chǎn)應(yīng)用領(lǐng)域環(huán)保,化工,能源,電子,綜合

共聚焦顯微鏡主要采用3D捕獲的成像技術(shù),它通過(guò)數(shù)碼相機(jī)針孔的高強(qiáng)度激光來(lái)實(shí)現(xiàn)數(shù)字成像,具有很強(qiáng)的縱向深度的分辨能力。在材料生產(chǎn)領(lǐng)域中,共聚焦顯微鏡工業(yè)測(cè)量?jī)x可廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體制造及封裝工藝檢測(cè)、3C電子玻璃屏及其精密配件、光學(xué)加工、微納材料制造、汽車零部件、MEMS器件等超精密加工行業(yè)及航空航天、科研院所等領(lǐng)域中??蓽y(cè)各類包括從光滑到粗糙、低反射率到高反射率的物體表面,從納米到微米級(jí)別工件的粗糙度、平整度、微觀幾何輪廓、曲率等。


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產(chǎn)品功能

1)設(shè)備具備表征微觀形貌的輪廓尺寸及粗糙度測(cè)量功能;

2)設(shè)備具備自動(dòng)拼接功能,能夠快速實(shí)現(xiàn)大區(qū)域的拼接縫合測(cè)量;

3)設(shè)備具備一體化操作的測(cè)量與分析軟件,預(yù)先設(shè)置好配置參數(shù)再進(jìn)行測(cè)量,軟件自動(dòng)統(tǒng)計(jì)測(cè)量數(shù)據(jù)并提供數(shù)據(jù)報(bào)表導(dǎo)出功能,即可快速實(shí)現(xiàn)批量測(cè)量功能;

4)設(shè)備具備調(diào)整位置、糾正、濾波、提取四大模塊的數(shù)據(jù)處理功能;

5)設(shè)備具備粗糙度分析、幾何輪廓分析、結(jié)構(gòu)分析、頻率分析、功能分析等五大分析功能;

6)設(shè)備具備一鍵分析和多文件分析等輔助分析功能,可實(shí)現(xiàn)批量數(shù)據(jù)文件的快速分析功能;


技術(shù)指標(biāo)

型號(hào)VT6100


行程范圍

X100mm
Y100mm
Z100mm
外形尺寸
520*380*600mm
儀器重量50kg
測(cè)量原理共聚焦光學(xué)系統(tǒng)
顯微物鏡10×;20×;50×;100×
視場(chǎng)范圍120×120 μm~1.2×1.2 mm


高度測(cè)量

重復(fù)性(1σ)12nm
精度± (0.2+L/100) μm
顯示分辨率0.5nm


寬度測(cè)量

復(fù)性(1σ)40nm
精度± 2%
顯示分辨率1nm
XY位移平臺(tái)負(fù)載10kg
控制方式電動(dòng)
Z0軸掃描范圍10mm
物鏡塔臺(tái)5孔電動(dòng)
光源白光LED


應(yīng)用領(lǐng)域

共聚焦顯微鏡工業(yè)測(cè)量?jī)x對(duì)各種產(chǎn)品、部件和材料表面的面形輪廓、表面缺陷、磨損情況、腐蝕情況、平面度、粗糙度、波紋度、孔隙間隙、臺(tái)階高度、彎曲變形情況、加工情況等表面形貌特征進(jìn)行測(cè)量和分析。


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共焦顯微鏡系統(tǒng)所展現(xiàn)的放大圖像細(xì)節(jié)要高于常規(guī)的光學(xué)顯微鏡。傳統(tǒng)光學(xué)顯微鏡上常配備靈敏度較低的CCD相機(jī)來(lái)采集圖像,對(duì)于低照度的光,如熒光無(wú)法探測(cè)到,而共聚焦顯微鏡系統(tǒng)使用的探測(cè)元件是高靈敏度的光電倍增管,對(duì)微弱的熒光信號(hào)可以呈現(xiàn)出很高的靈敏度,并且還可以通過(guò)縮小激發(fā)范圍并使用光學(xué)切片來(lái)消除背景噪聲。


在相同物鏡放大的條件下,共焦顯微鏡所展示的圖像形態(tài)細(xì)節(jié)更清晰更微細(xì),橫向分辨率更高。


應(yīng)用范例



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