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激光干涉儀光學測量儀

簡要描述:SJ6000激光干涉儀光學測量儀系統(tǒng)具有豐富的模塊化組件,可根據(jù)具體測量需求而選擇不同的組件。主要鏡組如下圖所列,依次為線性鏡組、角度鏡組、直線度鏡組、垂直度鏡組、平面度鏡組、自動精密轉臺。可檢測數(shù)控機床、三坐標測量機等精密運動設備其導軌的線性定位精度、重復定位精度等,以及導軌的俯仰角、扭擺角、直線度、垂直度等。

  • 更新時間:2024-05-13
  • 產(chǎn)品型號:SJ6000
  • 廠商性質:生產(chǎn)廠家
  • 訪  問  量:1097

詳細介紹

品牌CHOTEST/中圖儀器價格區(qū)間面議
產(chǎn)地類別國產(chǎn)應用領域環(huán)保,化工,交通,航天,汽車

激光干涉儀以干涉技術為核心,其光波可直接對米進行定義。它采用激光雙縱模熱穩(wěn)頻技術,可實現(xiàn)高精度、抗干擾能力強、長期穩(wěn)定性好的激光頻率輸出;采用高精度環(huán)境補償模塊,可實現(xiàn)激光波長和材料的自動補償;干涉鏡與主機分離設計,避免干涉鏡受熱影響,保證干涉光路穩(wěn)定可靠。


中圖儀器SJ6000激光干涉儀光學測量儀集光、機、電、計算機等技術于一體,產(chǎn)品采用進口高性能氦氖激光器,其壽命可達50000小時;采用激光雙縱模熱穩(wěn)頻技術,可實現(xiàn)高精度、抗擾力強、長期穩(wěn)定性好的激光頻率輸出;采用高速干涉信號采集、調理及細分技術,可實現(xiàn)高4m/s的測量速度,以及納米級的分辨率;采用高精度環(huán)境補償模塊,可實現(xiàn)激光波長和材料的自動補償;采用高性能計算機控制系統(tǒng)及軟件技術,支持中文、英文和俄文語言,友好的人機界面、向導式的操作流程、簡潔化的記錄管理。

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產(chǎn)品配置

SJ6000激光干涉儀光學測量儀系統(tǒng)具有豐富的模塊化組件,可根據(jù)具體測量需求而選擇不同的組件。主要鏡組如下圖所列,依次為線性鏡組、角度鏡組、直線度鏡組、垂直度鏡組、平面度鏡組、自動精密轉臺。

主要鏡組圖.png

▲主要鏡組圖


其中,線性鏡組為標配,由線性干涉鏡、線性反射鏡和夾緊孔座構成。可滿足線性位移設備的定位精度、重復定位精度、反向間隙的測量與分析,以及反向間隙修正和螺距補償。


技術規(guī)格

穩(wěn)頻精度0.05ppm
動態(tài)采集頻率50 kHz
預熱時間≤ 6分鐘
工作溫度范圍(0~40)℃
存儲溫度范圍(-20~70)℃
環(huán)境濕度(0~95)%RH
線性測量距離(0~80)m (無需遠距離線性附件)
線性測量精度0.5ppm (0~40)℃
角度軸向量程(0~15)m
角度測量精度±(0.02%R+0.1+0.024M)″
平面度軸向量程(0~15)m
平面度測量精度±(0.2%R+0.02M2)μm (R為顯示值,單位:μm;M為測量距離,單位:m)
直線度軸向量程短距離(0.1~4.0)m;長距離(1.0~20.0)m
直線度測量精度短距離±(0.5+0.25%R+0.15M2) μm長距離±(5.0+2.5%R+0.015M2) μm
垂直度軸向量程短距離(0.1~3.0)m;長距離(1.0~15.0)m
垂直度測量精度短距離±(2.5+0.25%R+0.8M)μm/m;長距離±(2.5+2.5%R+0.08M)μm/m


產(chǎn)品功能

(1)可實現(xiàn)線性、角度、直線度、垂直度、平行度、平面度、回轉軸等幾何參量的高精密測量;

(2)可檢測數(shù)控機床、三坐標測量機等精密運動設備其導軌的線性定位精度、重復定位精度等,以及導軌的俯仰角、扭擺角、直線度、垂直度等;

(3)可實現(xiàn)對機床回轉軸的測量與校準;

(4)可根據(jù)用戶設定的補償方式自動生成誤差補償表,為設備誤差修正提供依據(jù);

(5)具有動態(tài)測量與分析功能,包括位移分析、速度分析、加速度分析、振幅和頻率分析等,可進行振動分析、絲桿導軌的動態(tài)特性分析、驅動系統(tǒng)的響應特性分析等;

(6)支持手動或自動進行環(huán)境補償。


測量軟件

(1)友好的人機界面;

(2)豐富的應用功能模塊;

(3)向導式的操作流程;

(4)簡潔化的記錄管理;

(5)支持中文、英文和俄文界面;

(6)支持企業(yè)專屬模板定制。


產(chǎn)品應用

對機床精度再校準.jpg

對機床精度再校準

三坐標測量機示值誤差測量.jpg

三坐標測量機示值誤差測量

導軌直線度檢測.jpg

導軌直線度檢測

光刻機X軸Pitch測量.jpg

光刻機X軸Pitch測量


導軌直線度檢測


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