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國內(nèi)白光干涉儀

簡要描述:中圖儀器國內(nèi)白光干涉儀的重建算法自動濾除樣品表面噪點,在硬件系統(tǒng)的配合下,分辨率可達0.1nm。測件尺寸可以測到12mm,也可以測到更小的尺寸。

  • 更新時間:2024-05-12
  • 產(chǎn)品型號:
  • 廠商性質(zhì):生產(chǎn)廠家
  • 訪  問  量:1909

詳細介紹

品牌CHOTEST/中圖儀器產(chǎn)地類別國產(chǎn)
應(yīng)用領(lǐng)域醫(yī)療衛(wèi)生,生物產(chǎn)業(yè),能源,航天

中圖儀器國內(nèi)白光干涉儀的重建算法自動濾除樣品表面噪點,在硬件系統(tǒng)的配合下,分辨率可達0.1nm。測件尺寸可以測到12mm,也可以測到更小的尺寸,XY載物臺標準行程為140*110mm,局部位移精度可達亞微米級別,鏡頭的橫向分辨率數(shù)值可達0.4um,Z向掃描電機可掃描10mm范圍,縱向分辨率可達0.1nm級別,因此可測非常微小尺寸的器件。


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中圖儀器國內(nèi)白光干涉儀采用了CCD取代了顯微鏡中的目鏡,可以直接從電腦上實時視頻窗口觀察樣品表面形貌,也可以通過重建后的樣品表面3D圖像觀察表面形貌,樣品表面形貌展示得更加清晰,圖像更大,觀察更加方便。


在光纖通信行業(yè),SuperView W1系列光學輪廓儀可以測量光纖端面缺陷和粗糙度;

在集成電路行業(yè),SuperView W1系列光學輪廓儀可以測量硅晶片或陶瓷晶片表面粗糙度;

在3C領(lǐng)域,SuperView W1系列光學輪廓儀可以測量藍寶石屏、濾光片、表殼等表面粗糙度;

在LED行業(yè),SuperView W1系列光學輪廓儀可以測量藍寶石、碳化硅襯底表面粗糙度;

在軍事領(lǐng)域,SuperView W1系列光學輪廓儀可以測量藍寶石觀察窗口表面粗糙度;

在EMES行業(yè),SuperView W1系列光學輪廓儀可以測量臺階高度和表面粗糙度;

......


白光干涉儀由于鏡頭視野較小,要想測量物體整個區(qū)域的表面情況,只能用自動拼接測量功能,但耗時較多,這時候可以用自動多區(qū)域測量功能,在樣品表面抽取多個測量區(qū)域進行測量,從而對樣品進行評估分析。中圖儀器白光干涉儀支持拼接功能,將測量的每一個小區(qū)域整合拼接成完整的圖像,拼接精度在橫向上和載物臺橫向位移精度一致,可達0.1um。


自動拼接功能.jpg


技術(shù)規(guī)格

產(chǎn)品型號:SuperView W1系列

產(chǎn)品名稱:光學3D表面輪廓儀

影像系統(tǒng):1024×1024

光學ZOOM:0.5×,(0.75×,1×可選)

干涉物鏡:10×,(2.5×,5×,20×,50×,100×可選)

XY平臺:尺寸320×200mm,行程140×110mm,電動、手動同時具備,均為光柵閉環(huán)反饋

Z軸行程:100mm,電動

Z向掃描范圍:10mm

Z向分辨率:0.1nm

水平調(diào)整:±5°手動

粗糙度RMS重復性:0.005nm

臺階高測量:準確度0.3%,重復性0.08% 1σ

主要特點:非接觸式無損檢測,一鍵分析、測量速度快、效率高

生產(chǎn)企業(yè):深圳市中圖儀器股份有限公司

注釋:更多詳細產(chǎn)品信息,請聯(lián)系我們獲取


深圳市中圖儀器股份有限公司是國家高新技術(shù)企業(yè),致力于精密測量、計量檢測等儀器設(shè)備的研發(fā)、生產(chǎn)和銷售。歷經(jīng)了十多年的技術(shù)積累和發(fā)展實踐,專業(yè)覆蓋面廣,專項技術(shù)能力強,具備了從納米到百米為用戶提供精密測量解決方案的能力。

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